西安潔凈室的幾個基本概念
1.1 潔凈室
潔凈室(Clean Room),亦稱無塵車間、無塵室或清凈室。潔凈室是指空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。室內其他有關參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。
1.2 潔凈區(qū)
潔凈區(qū)(Clean Zone)是指空氣懸浮粒子濃度受控的限定區(qū)間。它的建造和使用應減少室內誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。室內其他有關參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。潔凈區(qū)可以是開放式或封閉式。
1.3 懸浮粒子
懸浮粒子(Airborne Particle)是指用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1μm~5μm的固體和液體粒子,但不適用于表征懸浮粒子的物理性、化學性、放射性及生命性。
1.4 超微粒子
超微粒子是指具有當量直徑小于0.1μm的粒子。
1.5 微粒子
微粒子是指具有當量直徑大于5μm的粒子。
1.6 含塵濃度
含塵濃度是指單位體積中懸浮粒子的顆數(shù)。
1.7 潔凈度
潔凈度是指以單位體積中大于或等于某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分的潔凈程度
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